Klebstoffe für (Nano-) Imprint und Wafer Bonding

Optische Harze und Klebstoffe für Imprint- und Optical Bonding-Anwendungen können für Light Carpet Module in der Automobilindustrie, für Sensoren in elektronischen Geräten und Wearables sowie für die Erzeugung von strukturiertem Licht in Projektoren oder Time-of-Flight-Sensoranwendungen verwendet werden.

Hoenle hat spezielle Klebstoffe für die Erzeugung von refraktiven Linsen und diffraktiven optischen Elementen (DOEs) entwickelt, die sich für die Mikro- und Nano-Imprint-Lithografie (Nanoprägelithografie), Wafer Level Optics und optisches Wafer Bonding eignen. Die Klebstoffe lassen sich leicht durch Puddle Dispensing, Spin-Coating oder Jetting auftragen. Sie bieten eine ausgezeichnete Haftung auf allen gängigen Glaswafern und auf neuen Polymersubstraten, wie beispielsweise optischem PET oder PC. Nach dem Auftragen und Imprint härten sie sehr schnell unter UV-Licht aus, wodurch im Fall von Imprint-Anwendungen eine präzise und dauerhafte Struktur auf dem Wafer entsteht.

Durch die gezielte, flächige Verbindung mehrerer derartig strukturierter Wafer miteinander – und gegebenenfalls mit sogenannten Spacer Wafern als präzisen Abstandshaltern – können hochkomplexe optische Geometrien gefertigt werden; diese Verbindungstechnik ist als Wafer Bonding bekannt. Hoenle hat hierfür maßgeschneiderte Klebstoffe entwickelt, die sich durch hohe optische Güte, zuverlässige Aushärtung in dünnen Schichten, sowie hervorragende mechanische Eigenschaften im Verbund mit unterschiedlichen Materialien wie z.B. Glas, Epoxy, und metallbasierten Maskierungsschichten auszeichnen.

Für schwarze Beschichtungen und optische Kantenversiegelungen bietet Hoenle auch schwarze UV-härtende Klebstoffe an. Diese schwarzen Epoxidklebstoffe sind im ungehärteten Zustand durchlässig für UV-Licht. Nach dem Aushärten sind sie undurchsichtig und lichtundurchlässig.

In der folgenden Tabelle finden Sie eine Auswahl unserer Klebstoffe, die für verschiedene Anwendungen im Bereich Optoelektronik geeignet sind. Weitere Produkte oder kundenspezifische Lösungen sind auf Anfrage erhältlich.

Technische Datenblätter können durch Klicken auf den Klebstoffnamen heruntergeladen werden.

Nanostructures on a wafer

Nanostrukturen werden in eine hauchdünne Klebstoffschicht auf einem Glaswafer gedruckt

Klebstoff Anwendung Viskosität [mPas] Basis Aushärtung * Besondere Eigenschaften
  • Medizinische Geräte
  • Optik
  • Elektronik
  • Linsenverklebung
  • Lichtabschirmung
3.500–7.000 (Rheometer, 25 °C, 10 s⁻¹) Epoxidharz UV/VIS
  • schwarze Farbe
  • geringe Schrumpfung
  • geringer Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE)
  • hohe Glasübergangstemperatur
  • gute chemische Beständigkeit
  • sterilisierbar
- 5.000-10.000 (Rheometer, 25°C, 10s^-1) Epoxidharz thermisch bei 60 °C
  • Nicht leitfähig
  • Hervorragende Haftung auf Hochleistungskunststoffen (LCP, PBT)
  • Hohe Reinheit
  • Elektronikqualität
  • Gute mechanische Stabilität
  • Gute chemische Beständigkeit
- 35.000-50.000 (Rheometer, 25 °C, 10s^-1) Acrylat UV/VIS
  • Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient
  • Geringe Schrumpfung
  • Schlagfest
  • Trockene Oberfläche
- 30-100 Acrylat UV VIS
  • Hohe Beständigkeit gegen Alkohole und Feuchtigkeit
  • keine Vergilbung
  • sehr hohe Haftung auf Kunststoffen, Glas und Metallen
  • geeignet für großflächige Verklebungen
  • zertifiziert nach USP Klasse VI
- 80-100 (LVT, 25°C, Sp. 2/30 rpm) Epoxidharz UV
  • Selbstnivellierend
  • Hohe Lichtdurchlässigkeit
  • Transparent, vergilbungsbeständig
  • Hohe Haftung auf Glas
- 170-230 (Rheometer, 25°C) Epoxidharz UV
  • Hohe Transmission
  • Beständig gegen Vergilbung
  • Gute Haftung auf Glas
  • Keine zusätzliche Grundierung erforderlich
  • Gute Entformbarkeit aus der Form (PDMS)
  • Halogenfrei
- 75 - 200 (Brookfield LVT, 25°C, Sp. 2/30 rpm) Epoxidharz UV
  • Niedrige Viskosität
  • Flexibel
  • Niedriger Sb-Gehalt
- 3.500-5.000 (Rheometer, 25 °C, 10s^-1) Acrylat UV VIS
  • Hervorragende Schälfestigkeit
  • Optisch klar
  • Außergewöhnlich flexibel
  • Hervorragende Dehnung
  • Beständig gegen Feuchtigkeit und Temperaturschwankungen

*UV = 320 – 390 nm          VIS = 405 nm

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